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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心半導(dǎo)體材料測試體微缺陷測試SIRM紅外體微缺陷分析儀

SIRM紅外體微缺陷分析儀

產(chǎn)品簡介

SIRM是非接觸和非破壞型光學(xué)檢測設(shè)備,對體微缺陷,如氧化物和金屬沉淀,位錯、堆垛層錯,體材料中的滑線和空隙等進行測試。

這個技術(shù)也可對GaAs 和 InP等復(fù)合材料進行測試。

產(chǎn)品型號:
更新時間:2026-03-31
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1634
詳細(xì)介紹在線留言

Capability:

  • 無需制樣

  • 最小測試缺陷尺寸10nm

  • 測試缺陷濃度范圍:105-109cm-3

  • 可做外延片測試

  • 測試樣品最大尺寸300mm

SIRM紅外體微缺陷分析儀 SIRM紅外體微缺陷分析儀








上海波銘科學(xué)儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學(xué)機械和光學(xué)平臺、激光器、Edmund 光學(xué)元件、Newport 產(chǎn)品、濱松光電探測器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學(xué)測試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級相機、Semilab 半導(dǎo)體測試設(shè)備及高低溫探針臺系統(tǒng)。經(jīng)過多年的發(fā)展,上海波銘科學(xué)儀器有限公司在市場上已取得了一定的地位。我們的產(chǎn)品和服務(wù)在行業(yè)內(nèi)具有較高的知zhi名度和美譽度,客戶遍布全國。我們將繼續(xù)努力,不斷提升市場地位和影響力。


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