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當前位置：首頁產品中心光譜系統顯微缺陷膜厚OPTM 系列顯微分光膜厚儀

顯微分光膜厚儀

產品簡介

OPTM 系列顯微分光膜厚儀
測量項目：

? 絕.對反射率測量

? 多層膜解析

? 光學常數分析（n：折射率，k：消光系數）

產品型號：OPTM 系列
更新時間：2026-03-31
廠商性質：生產廠家
訪問量：10941
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　　OPTM 系列顯微分光膜厚儀
 
　　•  使用顯微光譜法在微小區域內通過絕.對反射率進行測量，可進行高精度膜厚度/光學常數分析。
 
　　•  可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學材料和多層膜。 測量時間上，能達到1秒/點的高速測量，并且搭載了 即使是初次使用的用戶，也可容易出分析光學常數的軟件。
 
　　•  頭部集成了薄膜厚度測量所需功能
 
　　•  通過顯微光譜法測量高精度絕.對反射率(多層膜厚度，光學常數)
 
　　•  1點1秒高速測量
 
　　•  顯微分光下廣范圍的光學系統(紫外至近紅外)
 
　　•  區域傳感器的安全機制
 
　　•  易于分析向導，初學者也能夠進行光學常數分析
 
　　•  獨立測量頭對應各種inline客制化需求
 
　　•  支持各種自定義
 
　　測量項目：
 
　　•  絕.對反射率測量
 
　　•  多層膜解析
 
　　•  光學常數分析(n：折射率，k：消光系數)

OPTM 系列顯微分光膜厚儀

 

型號 OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
波長范圍 230 ~ 800 nm 360 ~ 1100 nm 900 ~ 1600 nm
膜厚范圍 1nm ~ 35μm 7nm ~ 49μm 16nm ~ 92μm
測定時間 1秒 / 1點
光斑大小 10μm (小約5μm)
感光元件 CCD InGaAs
光源規格 氘燈+鹵素燈 鹵素燈
電源規格 AC100V±10V 750VA（自動樣品臺規格）
尺寸 555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動樣品臺規格之主體 部分)
重量  
約 55kg（自動樣品臺規格之主體部分）
 
 

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